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電子業對無塵室的要求

Jan 10, 2020

電子業對無塵室潔淨室的要求需配備 空氣淋浴 、潔淨棚、FFU淨化單元、高效過濾器、高效送風口、傳遞窗。這些設備沒有配備,您的要求也達標了。

電子業對無塵室的要求 潔淨室 :無塵室又叫無塵廠房、無塵室、無塵室,電子廠的生產工序種類很多,有積體電路生產(分為光掩模版、前道工序、後道工序)、屏南顯示器生產(分為LCD、PDP、TFT、VFD、顯像管)、矽材料生產(單晶矽、多晶矽)、光纖生產、卡卡製造、表面貼裝(SMT)、分離元件生產(功率一、二、三級管、電容、電阻)、整機組裝生產(機上盒、數位投影機、電子數位相機)、自動控制元件生產(感測器、執行器)等。


由於生產工序種類繁多,對潔淨度等級的要求也不盡相同,有高的有低的;對顆粒大小控制的要求也不盡相同,大約在0.1~5um之間;對溫濕度控制的要求相對較高,如集成電路前道工序一般要求溫度基準為22℃(精度±0.1~±1℃),相對濕度基準為40%(精度±2~±5℃);對正壓值要求的梯度等級隨潔淨度由高到低變化,差值為5~10Pa。

無塵車間冷負荷 電子業 電子業的用電量遠大於其他產業,單位冷負載為400~500W/m²。由於冷負荷較大,冬季一般也需要降溫,這是電子產業的特色。
電子業生產過程中產生的有害氣體種類多,數量大,所需的排風量和新風量也較大。新風的節能措施也是該產業的特點之一。排放前需進行處理,使排風負荷達到環保要求。

電子業生產過程有防靜電、防震動的要求,且大宗氣體和特殊氣體種類較多,要求純度、潔淨度較高:
1.電子廠萬級無塵室噪音等級(空態):不應大於65dB(A)

2.電子廠無塵室的無塵室滿度不得低於60%,水平單向流潔淨室滿度不得低於40%,否則為局部單向流。

3.電子製造廠無塵室與室外靜壓差不得小於10Pa,不同空氣潔淨度的無塵區與非潔淨區之間的靜壓差不得小於5Pa

4.電子製造業萬級潔淨室的新風量應取下列兩項中的較大者:

5.維持室內正壓所需的室內風量與新風量的總和。

6.保證無塵室每人每小時的新鮮空氣量不小於40m3。


 
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