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電子業對無塵室的要求

Jan 10, 2020

電子業對無塵室潔淨室的要求需配備風淋室、無塵棚、FFU淨化機組、高效過濾器、高效送風口、傳遞窗等。如果沒有配備這些設備,您的要求就達不到標準。

電子業對無塵室的要求無塵室又稱潔淨工場、無塵室、無塵室。電子廠的生產流程種類較多,有積體電路生產(分為光掩模、前工序、後工序)、屏南顯示器生產(分為LCD、PDP、TFT、VFD、顯像管)、矽材料生產(單晶矽、多晶矽)、光纖生產、卡片製造、表面貼裝(SMT)、分離裝置生產(功率一、二、三級管、電容、電阻)、整機組裝生產(機上盒、數位投影機、電子數碼相機)、自動控制元件生產(感應器、執行器)等


由於生產流程多樣,對潔淨度等級的要求也不同,高則高,低則低;粒徑控制的要求也不同,大約在0.1到5um之間;溫濕度控制的要求比較高,例如積體電路的前級一般要求基準溫度為22℃(精度±0.1至±1℃),相對濕度基準為40%(精度±2至±5℃;正壓值所需的梯度等級為潔淨度由高到低變化,相差5~10Pa。電子業 無塵

車間的冷負荷遠大於其他行業,單位冷負荷400~500W/㎡。由於冷負荷較大,冬季一般也需要製冷,這是電子業的特色。
電子工業生產過程中產生的有害氣體種類較多,數量也較多,因此所需的廢氣和新風量也較大。新排風的節能措施也是該產業的特色之一。排放前應進行處理,使廢氣負荷環保。

電子業的生產過程需要抗靜電、抗振動需求,大宗氣體和特種氣體種類較多,要求純度和潔淨度高: 1、電子業萬級潔淨室的噪音水準(空態)工廠:不應大於
65dB (A)

2、電子廠潔淨室中的無塵室不得低於60%滿度,水平單向流潔淨室不得低於40%,否則會部分單向流。

3.電子製造廠無塵室與室外的靜壓差不得小於10Pa,不同空氣潔淨度的潔淨區與非潔淨區的靜壓差不得小於5Pa 4電子製造業萬級潔淨室的新風量應

取下列兩項的最大值:

5、室內風量與維持室內正壓所需新風量之和。

6.保證無塵室每人每小時的新風量不小於40m3。


 
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