潔淨室參數是一個比較複雜的問題。隨著科技的進步，越來越多的產業應用無塵室。不同產業的無塵室參數各有不同，因此技術參數也越來越多。微電子產業對氣浮顆粒濃度的要求更高； 製藥業 對氣浮菌濃度要求較高；精密測量、精密加工產業對溫度、振動等要求較高。針對以上情況，無塵室的技術參數可分為基本參數及特殊參數兩大類。

二、無塵室的基本參數

1. 清潔

潔淨度是無塵室最重要、最基本的技術指標，其單位為：單位體積空氣中所含粒徑不小於某尺度的粒子個數。微電子產業對潔淨度的要求最高，其次是光電產業。

2. 微生物濃度

微生物濃度是無塵室的另一個重要技術指標。其單位為：單位體積空氣中微生物的數量。生物工程產業對微生物濃度的要求最高，其次是醫療、製藥、食品、飲料和化妝品產業。微生物的種類繁多，包括病毒、細菌、真菌、藻類、孢子、花粉和蟎蟲。空氣中的微生物是空氣懸浮顆粒的一部分，確切地說是危害較大的部分。通常測量的是空氣中的細菌濃度。

3.溫度

溫度是基本的工作條件，幾乎所有無塵室對溫度都有明確的要求。溫度會影響物體的尺度，進而影響加工的精度，因此精密加工對溫度的要求相當嚴格。溫度會影響儀器的參數，造成測量誤差，因此精密測量儀器對溫度的要求更高。

4.濕度

濕度也是基本的工作條件，幾乎所有無塵室對濕度都有明確的要求。濕度過高會導致許多物質產生化學反應，影響產品質量，甚至造成設備故障、產品報廢。濕度過低，許多物質會脫水變形，失去原有的功能。

5.風速和風量

足夠的風速和風量是潔淨度的保證，過大的風速和風量不僅浪費能源，有時還會影響正常工作。

6.氣壓及壓差

正常的氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓力差是為了控制漏氣量。為了確保潔淨度，微電子產業的無塵室不允許低潔淨度的空氣洩漏到高潔淨度的區域。病毒實驗室或感染病房也不允許室內空氣洩漏到室外。

7.噪音

噪音過大不僅會影響正常運作，還會影響人員的健康。降低噪音是 乾淨的房間。

8.照度

適當的照明是正常工作的必要條件。