潔淨室參數是一個更複雜的問題。隨著科技的進步，越來越多的產業應用無塵室。不同產業的無塵室參數不同，因此技術參數也越來越多。微電子產業對氣浮顆粒濃度要求較高；製藥業對氣浮菌濃度要求較高；精密測量和精密加工產業對溫度和振動有更高的要求。鑑於上述情況，無塵室的技術參數可分為基本參數和特殊參數兩類。

二、無塵室的基本參數

1. 清潔度

  潔淨度是無塵室最重要、最基本的技術指標，其單位是：單位體積空氣中粒徑不小於某尺度的粒子數。微電子產業對潔淨度要求最高，其次是光電產業。

  2.微生物濃度

  微生物濃度是無塵室的另一個重要技術指標。其單位為：單位體積空氣中微生物的數量。生物工程產業對微生物濃度的要求最高，其次是醫療、製藥、食品、飲料和化妝品產業。微生物的種類很多，包括病毒、細菌、真菌、藻類、孢子、花粉和蟎蟲。空氣中的微生物是空氣中顆粒物的一部分，準確地說是有害的部分。通常測量空氣中細菌的濃度。

  3.溫度

  溫度是基本的工作條件。幾乎所有的無塵室對溫度都有明確的要求。溫度會影響物體的尺度，進而影響加工的精度，所以精密加工對溫度有相當嚴格的要求。溫度會影響儀器的參數，造成測量誤差，因此精密測量儀器對溫度有較高的需求。

  4.濕度

  濕度也是一個基本的工作條件。幾乎所有的無塵室對於濕度都有明確的要求。濕度過高會引起多種物質發生化學反應，影響產品質量，甚至造成設備故障、產品報廢。如果濕度過低，許多物質就會脫水變形，失去原有的功能。

  5.風速和風量

  足夠的風速和風量是潔淨度的保證。過大的風速和風量不僅浪費能源，有時還會影響正常工作。

  6.氣壓及壓差

  正常氣壓是正常工作的基本條件。必要的壓力差是為了控制漏胃。為了確保潔淨度，微電子產業的潔淨室不允許潔淨度低的空氣洩漏到潔淨度高的區域。病毒實驗室或感染病房不允許室內空氣洩漏到室外。

  7. 噪音

  過多的聲音不僅會影響正常運作，還會影響人員的健康。降噪是潔淨室的基本要求。

  8. 照度

適當的照明是正常工作的必要條件。