無塵室空調系統分部

（一）淨化冷氣機系統劃分原則 1.潔淨度、溫度、濕度及其精度相同或相近的無塵室應劃分為一套淨化空調系統。 易於控制潔淨度和溫濕度。 2.彼此距離較近的潔淨室宜劃為一個系統，這樣可以減少系統管線的長度和管線的交叉。 3.有條件時，可採用4、5個單向流及6、7、8個非單向流組成混流淨化空調系統。 4.無塵室不宜與一般空調房間合為一個系統。 5.使用規律和使用時間不一樣的無塵室不適合採用淨化空調系統。 6、產塵、產熱、有害物質、噪音的房間應設計為單獨的系統。 7.具有高毒性、混合後會引起火災和爆炸的房間不應組合成一個淨化空調系統。 8.有劇毒和易燃易爆的a、b房間應採用單獨的系統，且不應採用回風直流系統。 9.淨化空調系統不易體積過大。 一般情況下，淨化送風量不宜超過10萬立方公尺；否則，空氣處理設備過大，噪音大，回風管道大，佔用空間和麵積大，使用不靈活。 10.潔淨空調系統的劃分也應考慮送風管、回風管、排氣管及水、電、氣等管線的佈置，盡可能做到合理、短小，便於管理，減少交叉和重疊。 11.空調系統新風的熱、濕度及淨化處理可採用集中式或分散式 製程設備局部排風系統劃分原則 1.製程設備局部排風系統不宜過大，且每個排風系統的排風點不宜過多，以方便排風管理與調節，達到良好的排風效果。 2.一套排風系統不宜跨越兩套或兩套以上的淨化空調系統。 3.混合後產生劇毒、爆炸、燃燒、結露、結晶及有害物質的排風，不得合併於同一排風系統。 4、不同房間、設備的排風不應合併於一個排風系統。 5. 潔淨室淨化空調系統送風類型的比較與選擇 （一）淨化空調送風聯合送風式，通常又稱為集中送風式。 本方案淨化空調機組（空氣處理機組AHU）設置在空調機房內，所有空調送風的淨化及熱、濕處理均在淨化空調機組內進行，並由大型送風風管將所有送風送至無塵室天花板，再經設在 無淨室天花板 終端高效過濾器或高效過濾器對無塵室內送風口進行過濾，以達到無塵室製程所需的溫度、濕度、潔淨度、以及房間的壓力差， 潔淨室內的回風經過回風口、回風管，連接空調機房內的淨化空調機組，與新風混合後，重複進行空氣淨化及熱濕處理。 此方案可分為全新風送風方案（直流系統）； 一次回風程序； 一回風、二回風方案、MAU+FFU方案四種不同的送風類型。 此送風方案為無塵室，特別是非單向流潔淨室應用最廣泛的送風方案。 本送風方案系統劃分明確，風量、溫濕度控制調節單一。 但當潔淨度等級較高、送風量較大時，空調房間佔地面積大，送回風管體積佔用面積和空間較大，送回風管道較長，送風風機餘壓高，噪音大，送風耗電量大。 因此，此送風方案較適用於較低等級非單向流潔淨室的送風，而對於5級以上單向流潔淨室的送風則較不經濟合理。 1.新風AHU送風方案（直流系統） 全新風淨化送風方案用於不允許有回風的無塵室專用送風方案。 例如，無塵室的生產流程屬於火災危險等級為A類、B類或製程過程中產生劇毒等有害物質，不允許在潔淨送風系統中回風。 2.AHU一次回風送風方案 一次回風的送風方案通常用於發熱量或產濕量較大的潔淨室，在潔淨等級較低的非單向流潔淨室中，室內餘熱或餘濕的送風量大於、等於或接近淨化送風量。 3.AHU一次回風、二次回風淨化空調送風方案 為了節省能源，消除空氣中熱量及處理過程中濕熱相互抵消的影響，在潔淨室淨化送風量大於空調送風量的情況下，為消除餘熱及濕熱，最好採用一次、二次回風方案，將二次混合點設計在系統送風點上，此方是最節能、最經濟的送風方案。 4.MAU+RAU淨化空調送風方案 本解決方案針對多個無塵室的潔淨度、溫度、濕度要求不同，室內產生的熱量和濕氣量也大體相同，為了確保每個潔淨室的潔淨度、溫度、濕度精度要求，需設置多個循環機組，循環機組的送風量為淨化後的送風濕量，並在機組內部設置必要的熱度、水溫設備，用於保證新濕度的水調整室。 由於循環機組位於無塵室的天花板上，因此循環機組送風的餘壓相對較小，機組的體積及機組的噪音、振動也較小，回風管道相對較短。 但需注意循環裝置的冷凝水排放。 本方案新風機組均位於空調機房內，這些潔淨室所需的新風全部由新風機組（MAU）淨化後，經過熱、濕的集中處理。 然後將其分配到每個循環單元並與其回風混合。 新風機組的新風量不僅要補充各個無塵室的排風，也要確保各個無塵室的正壓。 新風扇組的熱濕處理點最好達到無塵室空氣的機械露點。如果新風的熱濕處理點低於無塵室的機械露點，新風不僅要承擔新風本身的濕負荷，還要消除無塵室的濕負荷。此時，循環機組中的表冷器可以採用乾式表冷器。 將淨化送風與空調分離的方案，通常稱為半集中式或分散式送風方案。 為大幅節省運轉時的能耗，將消除無塵室內剩餘的熱濕，空調送風量（通常大大小於無塵室淨化空氣量），由空調機房送風單元（MAU）進行必要的淨化及熱濕處理，而將無塵室淨化空氣量總純度的50～90%保證於無塵室附近循環單元進行淨化及補充熱濕處理，或直接利用天花板上的風扇頭（過濾單元）及乾盤管來解決無塵室潔淨度等級及溫度的微調。 這種與空調送風分開的送風方案，不但可以節省運轉能源，而且可以大幅減少空調機房的面積，省去龐大的送回風管道，降低潔淨室的空間高度。 此類淨化送風方案可分為：空調機組（AHU）加風機過濾單元（FFU）方案、新風扇組（MAU）加循環單元（RAU）加FFU方案； 新風機組（MAU）+風扇過濾單元（FFU）+乾冷管 （DC）等三種送風方案。 1. 空調機組AHU（MAU）和風機過濾機組（FFU）的送風方案此方案中，空調系統的全部熱濕負荷（潔淨室內產生的熱濕負荷和新風的熱濕負荷）均由位於空調機房的空調機組承擔。 此時空調機組的送風量為消除系統餘熱、餘濕的送風量（包括全部新風和部分回風，但遠少於保證潔淨室潔淨度所需的淨化送風量），並應能保證潔淨室恆定的溫度和相對濕度。 潔淨室的潔淨度由潔淨室天花板上的風機過濾單元（FFU）保證，該單元對淨化空氣供應進行循環和過濾。 本方案要注意的是，FFU運作過程中產生的熱量也要由空調機組承擔。 此方案比較適用於大型非單向流潔淨室中部分垂直單向流的混流無塵室。 2. 採用新風機組（MAU）加（HE）循環機組和風機過濾機組（HE頭）組成淨化空調送風方案，此方案適用於多個潔淨室不同的潔淨度、溫度、濕度要求，室內產生的熱量和濕氣量也差不多，為了確保每個潔淨室的潔淨度、溫度、濕度精度要求，需設置多個循環機組，循環機組的送風量即為淨化送風量，並在機組內部設置必要的熱、濕處理設備，用於補充新風機組熱、濕處理的不足和保證潔淨室溫濕度精度的微調段。 由於循環機組位於無塵室的天花板上，因此循環機組送風的餘壓相對較小，機組的體積及機組的噪音、振動也較小，回風管道相對較短。 但需注意循環裝置的冷凝水排放。 本方案新風機組均位於空調機房內，這些潔淨室所需的新風全部由新風機組（MAU）淨化後，經過熱、濕的集中處理。 然後將其分配到每個循環單元並與其回風混合。 新風機組的新風量不僅要補充各個無塵室的排風，也要確保各個無塵室的正壓。 新風扇組的熱濕處理點最好達到無塵室空氣的機械露點。如果新風的熱濕處理點低於無塵室的機械露點，新風不僅要承擔新風本身的濕負荷，還要消除無塵室的濕負荷。此時，循環機組中的表冷器可以採用乾式表冷器。 當潔...