在潔淨室建設規模與技術水準上，我國與先進國家的差距更大。日本清水建設公司。 1982年至1987年承包的無塵室面積已達71.8萬平方米，而我國承包的無塵室總面積不足10萬平方公尺。潔淨室建設有了很大的發展。 1993年承包的無塵室總面積已接近15萬平方公尺。美國的無塵室建設規模更大，1998年統計已達188.5萬平方公尺。 潔淨工程技術 1980年代末，國外已大量興建0.1微米級超潔淨室，1987年日本三洋新潟工廠建造了3000平方米的十級潔淨車間，NIT原木廠建造了四座1000平方米的千級車間，用以控制0.1微米塵埃，換氣次數高達每分鐘300次。台灣地區新建的美國TSMCS廠區則建造了第四代管道式無塵室，總面積達10,000平方公尺。我國使用的0、1微米十級潔淨室主要依賴從國外進口，由於高潔淨度等級的潔淨室造價十分昂貴，0.1微米十級潔淨室每平方米造價高達1萬美元。潔淨車間在大規模積體電路製造設備投資中佔有很高的比例，與積體電路技術不斷更新、產品更新換代週期越來越快的發展趨勢不相適應，嚴重限制了大規模積體電路技術的發展。美國ASYST公司和德國MW公司開發的採用隔離技術的亞微米生產微環境系統設備和技術，近年來得到了廣泛的應用。這種最新的潔淨技術，採用在100級潔淨度的潔淨車間中，製程設備部分採用隔離技術的微環境，使投資比降到了高級別微環境，消除了由於操作人員操作和製程設備造成的二次污染源，對集成電路的成品率和可靠性有影響。

潔淨傳遞窗 、 中國風淋室、 層流罩設計 、歡迎查詢 萬區