無塵室是指在一定的空間內，除去空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物，並將室內的溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音、振動、照明、靜電等控制在一定的需要範圍內，而給定的一個專門設計的房間。也就是說，無論外界空氣條件如何變化，房間內都能保持原有設定的潔淨度、溫度、濕度、壓力等要求。潔淨室的主要功能是控制產品（如矽片等）所接觸的大氣的潔淨度、溫度和濕度，使產品能在良好的環境空間內生產製造，這個空間就稱為潔淨室。

一、潔淨室的指標。

1.潔淨室內的送風量是否足夠，能稀釋或消除室內產生的污染。

2.潔淨室內的空氣由潔淨區流向潔淨度較差的區域，污染空氣的流動達到最低程度，在門口處及室內建築物內使空氣以正確的方向流動。

3.潔淨室內的送風不會明顯增加室內污染。

4.室內空氣的運動狀態，能確保密室內不存在高濃度聚集區。

二、潔淨室測試。

1.送風、排風量：若為亂流無塵室，則須測量送風、排風量。若為單向流潔淨室，則須測量風速。

2、各區間的氣流控制：為證明各區間的氣流運動方向正確，即從潔淨區流向潔淨度較差的區域，需檢查：

（1）各段壓差正確；

( 2）門口或牆壁、地面等開口處的空氣流動方向正確，即從潔淨區流向潔淨度較差的區域。

3.過濾器檢漏：應檢查高效率過濾器及其框架，確保懸浮污染物不會通過：（1）損壞的過濾器；（2）過濾器與其外框之間的縫隙；

（3）過濾裝置其他部件侵入室內。

4.隔離洩漏檢測：此項測試是為了證明懸浮污染物不會滲透建築材料進入無塵室。

5.室內氣流控制：氣流控制測試的類型取決於無塵室的氣流模式－亂流或單向流。如果潔淨室內的氣流為亂流，則必須驗證房間內不存在氣流不足的區域。如果是單向流潔淨室，則必須驗證整個房間的風速和風向是否符合設計要求。

6.懸浮粒子濃度及微生物濃度：若上述測試符合要求，最後還要測量粒子濃度及微生物濃度（必要時），以驗證其符合無塵室設計的技術條件。

7.其他測試：除上述污染控制測試外，有時還需進行以下一項或多項測試：溫度、相對濕度、室內加熱和冷卻能力、噪音值、光照強度、振動值

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