潔淨室的潔淨度往往受氣流的影響,換言之,人員、機房、建築結構等產生的粉塵的移動和擴散,都以氣流為主導。
潔淨室採用HEPA和ULPA來過濾空氣,其集塵率高達99.97~99.99995%,因此經過這種過濾器過濾後的空氣可以說非常潔淨。然而,除了人之外,室內還有其它揚塵源。
潔淨室
機器等產生的粉塵一旦擴散,潔淨空間就無法維持。因此,必須利用氣流將產生的粉塵迅速排出室外。
風速控制
潔淨室內的氣流是影響無塵室性能的重要因素,一般潔淨室的氣流速度選取在0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬於微風區,容易受到人、機器等乾擾而趨於混亂,雖然提高風速可以抑制這種擾動的影響,保持潔淨度,但風速的提高會影響運行成本的增加。因此,應能在滿足所要求的潔淨度等級的條件下,以最適當的風速進行供氣。實現合適的風速供氣,以達到經濟的效果。
另一方面,潔淨室要達到穩定的潔淨效果,維持均勻的氣流也是重要因素。如果無法維持均勻的氣流,就表示風速不均,尤其是在牆面上,氣流會沿著牆面產生渦流。要達到高潔淨度其實是非常困難的。
為了保持垂直層流方向的均勻氣流,必須:
(A)吹風面的風速不得有快慢差異;
(B)地板回風板吸入面的風速應無差異。速度過低或過高(0.2m/s、0.7m/s)都會產生渦流,速度為0.5m/s時氣流較為均勻,一般潔淨室的風速在0.25~0.5m/s之間。
影響因素
影響無塵室氣流的因素很多,例如製程設備、人員、
無塵室組裝材料
、照明電器等。同時也應考慮生產設備上方氣流的導流點。
一般情況下,操作台或生產設備表面的氣流導流點應位於無塵室空間與
潔淨室隔間牆
2/3,讓作業員作業時氣流能從製程區內部流向作業區,將灰塵帶走;若導流點設在製程區前方,則會成為不適當的氣流導流,此時大部分氣流會流向製程區,而作業員作業所產生的灰塵則會被帶到設備後方,如此一來,檯面
潔淨室內工作台等障礙物在其連接處會產生渦流,且其附近的潔淨度相對較差,在工作台上鑽回風孔可以最大程度地減少渦流;組裝材料的選用是否合適、設備佈局是否完善也是氣流是否形成渦流現象的重要因素。