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清潔技術

Mar 06, 2021
潔淨技術與電子產品生產技術相互促進、共同發展。新國標滿足了新時代電子產品生產對潔淨技術的要求。新國標的實施,使我國潔淨技術水準邁上了一個新階梯。
潔淨的生產環境(潔淨工場、 潔淨室 )相繼使用了「潔淨室」、「無窗車間」、「封閉車間」、「控制懸浮粒子的房間」等概念。潔淨車間的設計、建造和使用應達到不進入或少進入粒子、不進入或少進入粒子、不滯留或少滯留粒子的程度。此外,潔淨車間也需依產品生產要求控制溫度、濕度、壓力等參數。根據產品生產需求,還需要對潔淨室內的氣流分佈、氣流速度、噪音、振動、靜電等進行控制。

產品生產推動清潔技術的演進

隨著科技的發展和產品生產的升級換代,特別是軍工、電子、航空航太和生醫等產業的發展,國內外潔淨技術的發展也不斷發展。現代工業產品和現代科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高品質和高可靠性。以微型化為例,電子計算機已從最初擺放在幾個房間裡的巨型機發展到如今隨身攜帶的筆記型電腦;同時,其中使用的電子元器件也從電子管到半導體分立器件,再到集成電路和超大規模集成電路;集成電路的線寬也從最初的幾微米發展到如今的45納米。這些新技術產品都要求有嚴格的潔淨生產環境。隨著產品生產對潔淨生產環境污染物控制、控制方法和控制設施的要求日益嚴格,潔淨技術也不斷發展。

清潔技術是一門綜合性技術,其核心技術包括生產製程技術、製程設計、 空氣淨化 、潔淨施工、及生產各類產品所需的專業技術(如生產微電子產品所需的高純度物質---高純度水、高純度氣體、高純度化學品相關專業技術等)。這些專業技術在無塵室設計上缺一不可,必須緊密配合、相互協調、圍繞產品生產的需要統籌安排。潔淨廠房的設計與施工就是要在相關專業設計的基礎上,做好各種安全設施--防火、防火、防爆、安全警報等,確保潔淨室的安全運行;同時要處理好電源、冷源、熱源等動力供應,節約能源;佈置好各種管道、線路,確保各種流體介質的輸送質量,減少材料介質,方便施工、安裝、運行和維護。

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