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無塵室指標要求及測試方法

Jan 30, 2021
無塵室是指在一定的空間內,除去空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物,並將室內的溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度與氣流分佈、噪音、振動、照明、靜電等控制在一定的需要範圍內,而給定的一個專門設計的房間。即無論外界空氣條件如何變化,房間內都能保持原有設定的潔淨度、溫度、濕度、壓力等要求。潔淨室的主要功能是控制產品(如矽片等)所接觸的大氣的潔淨度、溫度和濕度,使產品能在良好的環境空間內生產製造,這個空間就稱為潔淨室。
1.無塵室指標

1) 室內空氣供應 潔淨室 足以稀釋或消除室內污染。

2) 潔淨室內的空氣由潔淨區流向潔淨度較差的區域,污染空氣的流量達到最少,在門口處及室內建築物內空氣按正確的方向流動。

3)潔淨室內的送風不會明顯增加室內污染。
4)室內空氣的運動狀態能確保密室內不存在高濃度聚集區。

2.潔淨室測試。

1.送風、排風量:若為亂流無塵室,則須測量送風、排風量。若為單向流潔淨室,則須測量風速。

2.區域間氣流控制:為證明區域間氣流運動方向正確,即從潔淨區域流向潔淨度較差的區域,需檢查:
(1)各段壓差正確;
(2)門口或牆壁、地面等開口處的空氣流動方向正確,即從潔淨區流向潔淨度較差的區域。
3. 過濾器洩漏檢測 :應檢查高效過濾器及其框架,確保懸浮污染物不會通過:

(1)過濾器損壞;

(2)過濾器與其外框之間的間隙;

(3)過濾裝置其他部件侵入室內。

4.隔離洩漏檢測 :此項測試是為了證明懸浮污染物不會滲透建築材料進入無塵室。

5.室內氣流控制 :氣流控制測試的類型取決於無塵室的氣流模式-湍流或單向流。如果潔淨室內的氣流為湍流,則必須驗證房間內不存在氣流不足的區域。如果是單向流潔淨室,則必須驗證整個房間的風速和風向是否符合設計要求。

6.懸浮顆粒濃度及微生物濃度: 如果上述測試符合要求,最後測量顆粒濃度和微生物濃度(必要時),以驗證其符合技術要求 潔淨室的條件 設計。
7. 其他測試 :除了上述污染控制測試外,有時還必須進行以下一項或多項測試:




溫度、相對濕度、室內暖氣冷氣能力、雜訊值、光照強度、振動值。

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