空氣淨化工程是指去除一定空間內空氣中的微小顆粒物、有害空氣、細菌等污染物,並對室內的溫度、潔淨度、壓力、風速和氣流分佈、噪音、振動和照明、靜電等進行淨化的工程。將電量控制在一定的要求範圍內。淨化工程設計的房間很特別。無論外界空氣條件如何變化,房間仍保持原來設定的潔淨度、溫度、濕度、壓力。
空氣淨化工程依原理可分為湍流潔淨室及層流潔淨室;依用途可分為工業淨化工程和生物淨化工程。空氣淨化工程是一個完整的系統,潔淨室設計及驗收規範中有相關說明。空氣淨化工程一般包括無塵室建築裝飾系統、淨化空調系統、水系統、電氣系統、空氣系統等。
空氣淨化工程是對潔淨室內的溫度、濕度、照度、潔淨度、靜電現象進行控制,以滿足特定的製程要求。空氣淨化工程對提高產品品質效果明顯。
根據國外文獻報道,半導體萬級、百級無塵室所生產的產品均通過了百級無塵室和外在大氣的壓力測試。對於電晶體的鍍膜和擴散來說,百級潔淨室內的產品性能分佈比較集中,峰值出現在性能較高的地方。產品在大氣中性能極為分散,性能極不穩定。可見
(1)有無空氣淨化,產品產率差異很大。
(2)為了提高產品質量,不僅產品生產的環境需要清潔,其關鍵原料和配料的生產也應在清潔的環境中進行。任何事情都不能是絕對的,空氣淨化技術的作用也不能是絕對的,提高產品品質的效果也不能歸因於它。根據國外資料分析,對於半導體元件領域來說,空氣淨化技術的作用提高產品品質約佔整個生產的20%,而生產過程的自動化佔60%,其他因素佔20%。當然,生產流程的問題解決之後,空氣淨化才是主要矛盾。例如,如果沒有清潔的環境,超大規模的積體電路就很難生產。需要空氣淨化的產業和部門包括電子、精密機械、航空航太、化學、印刷工業、核能工業、食品工業、製藥工業、醫院、動物實驗、注塑工業等。