潔淨室空氣淨化送風系統中的新風與回風工程在空調機房的空調機組（AHU）中混合，經過一系列的過濾和濕熱處理後，通過送風管道送至潔淨室頂部，然後送至潔淨室。經過頂部高效過濾器過濾後的車間。回風經由位於無塵室底部或頂部的回風管抽回空調機房的空調機組。回風在空調機組中與新鮮空氣重新混合，並進行往復處理。這就是無塵室送風和回風系統的工作過程，這是無塵室產業的常見做法。從運作經濟性和節能的角度來看，這種一次回風送風系統多用於潔淨度等級較低、換氣次數少、總風量小、室內發熱量大、空氣溫差大的場合。電子業無塵廠房，即消除餘熱、餘濕的空調送風量與無塵室相近或相同。淨化風量大，無需再加熱或少再加熱的系統。這是合理、可行的。如果送風量大，室內產熱量小，送風溫差也比較小，所需再熱量大，運作經濟性差。這種形式的無塵回風多用於淨化等級ISO8、ISO9較低、室內發熱量較高的工業無塵室的送風系統，即空調送風和淨化送風為主。相同或相似的系統。

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