潔淨室是空氣中顆粒和污染物含量較低的受控環境。潔淨室中包含的設備可能會根據設施的特定需求和要求而有所不同。以下是一些常見的無塵室設備類型：

1. HVAC（暖氣、通風和空調）系統：無塵室依靠 HVAC 系統來控制溫度、濕度和空氣過濾。HVAC 系統確保持續供應經過過濾和調節的空氣，以保持房間內所需的清潔度等級。

2. 空氣過濾器：高效顆粒空氣 (HEPA) 過濾器或超低顆粒空氣 (ULPA) 過濾器用於去除空氣中的顆粒和污染物。這些過濾器安裝在空氣處理機組和無塵室送風口處，以保持清潔、無顆粒的環境。

3. 潔淨工作台和工作站：潔淨工作台是配備 HEPA 過濾空氣供應的封閉工作站。它們為執行特定任務提供局部清潔和無菌環境，例如處理敏感材料或進行實驗。

4. 風淋室：風淋室是配備高速噴射的室，可在人員或設備進入無塵室之前將其吹走。它們通過去除表面和衣服上的鬆散顆粒來幫助減少污染。

5. 傳遞室：傳遞室用於在無塵室和相鄰區域之間轉移材料和設備，而不會交叉污染。它們具有互鎖門，一次可以打開一扇門，以保持清潔區域和非清潔區域的分離。

6. 層流櫃：層流櫃在工作區域產生單向氣流，為處理敏感設備或執行需要高清潔度的程序提供無菌環境。

7. 無塵室家具：無塵室可能包括專門的家具，例如不銹鋼工作台、儲物櫃、材料轉運車和椅子，旨在最大限度地減少顆粒產生並便於清潔。

8. 監控和控制系統：無塵室配備監控和控制系統，以維護和監控溫度、濕度、氣壓差、顆粒計數和氣流速度等環境參數。這些系統確保無塵室條件在指定範圍內。

9. ESD（靜電放電）控制設備：根據無塵室的要求，可使用靜電放電控制設備，例如接地地板、防靜電服、腕帶和鞋類，以防止損壞敏感電子元件。

值得注意的是，無塵室中的特定設備可能會根據行業、無塵室分類以及無塵室環境中執行的具體流程而有所不同。