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無塵室指標要求及測試方法

Jan 30, 2021
潔淨室是指去除一定空間內空氣中的顆粒物、有害空氣、細菌等污染物,並對室內溫度、潔淨度、室內壓力、氣流速度和氣流分佈、噪音、振動、照明、靜電等進行控制。在在一定的用電需求範圍內,並給予專門設計的房間。即無論外在空氣條件如何變化,房間都能維持原先設定的潔淨度、溫度、濕度、壓力需求。潔淨室的主要功能是控制產品(如矽片等)所接觸的大氣的潔淨度、溫度和濕度,使產品能夠在良好的環境空間中進行生產和製造。這個空間稱為潔淨室。 一、無塵室指標

1)潔淨室內的送風量足以稀釋或消除室內污染。

2)潔淨室內的空氣從潔淨區流向潔淨度較差的區域,污染空氣的流量達到最小,空氣在門口和室內建築內以正確的方向流動。

3)無塵室送風不會明顯增加室內污染。
4)室內空氣的運動狀態可確保密室內不存在高濃度聚集區域。

2、潔淨室測試。

1.送風量和排風量:如果是湍流潔淨室,則必須測量送風量和排風量。如果是單向流潔淨室,必須測量風速。

2.區域間氣流控制:為證明區域間氣流運動方向正確,即從潔淨區流向潔淨度較差的區域,需要檢查: (1)各段壓力差是正確的
;
(2)門口或牆壁、地板等開口處的空氣流動方向正確,即從潔淨區流向較差潔淨區。 3.過濾器檢漏:應檢查高效能過濾器及其框架,確保懸浮污染物不會透過:

(1)過濾器損壞;

(2)過濾器與其外框之間的間隙;

(3)過濾裝置的其他部分侵入房間。

4.隔離洩漏檢測:此測試是為了證明懸浮污染物不會滲透建築材料進入無塵室。

5.室內氣流控制:氣流控制測試的類型取決於無塵室的氣流模式-湍流或單向流。如果潔淨室中氣流湍流,必須驗證室內不存在氣流不足的區域。如果是單向流潔淨室,必須驗證整個房間的風速和風向是否符合設計要求。

6.懸浮顆粒濃度和微生物濃度:如果上述測試符合要求,則最後測量顆粒濃度和微生物濃度(必要時),以驗證其符合無塵室設計的技術條件。 7.其他試驗:除上述污染控制試驗外,有時還必須進行下列一項或多項試驗:





溫度、相對濕度、室內冷氣冷凍能力、雜訊值、光照強度、振動值。

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