（一）淨化冷氣機系統劃分原則

1.潔淨度、溫度、濕度及其精度相同或相近的無塵室應劃分為淨化空調系統。易於控制清潔度和溫濕度。2.彼此靠近的潔淨室應分為一個系統，這樣可以減少系統管道的長度和管道的交叉。

3.條件允許時，混流淨化空調系統可由4、5單向流及6、7、8非單向流組成。

4、無塵室不宜與一般空調室合併為一個系統。

5.使用規律和使用時間不一樣的無塵室不適合採用淨化空調系統。

6.產塵室、發熱室、有害物質室、噪音室應設計為單獨的系統。

7.劇毒、混合後引起火災、爆炸的房間不得合併為一套淨化空調系統。

8.有劇毒及易燃易爆的a、b室應採用獨立系統，且不應有回風直流系統。

9.淨化空調系統不易太大。一般情況下，淨化送風量不宜超過10萬立方公尺；否則，空氣處理設備體積過大，噪音大，回風管道大，佔用空間和麵積大，使用不靈活。

10.潔淨空調系統劃分也應考慮風道、回風道、排氣道及水、電、氣等管道的佈置，盡量做到合理、短小、便於使用管理，減少交叉點和重疊。

11.空調系統新風的熱、濕、淨化處理可集中或分散

製程設備局部排風系統劃分原則

1.製程設備的局部排風系統不宜太大，各排風系統的排風點不宜過多，以便排風管理和調節方便，排風效果好。

2、一套排風系統不應交叉兩台及以上淨化空調系統。

3.混合後產生劇毒、爆炸、火災、凝結、結晶及有害物質的廢氣不得匯入一套廢氣系統。

4、不同房間和設備的排風不應合併為一個排風系統。

5.無塵室淨化空調系統送風方式的比較與選擇

(一)淨化與空調送風聯合送風式，通常也稱為集中送風式。此方案在空調房內設置淨化空調機組（空氣處理機組AHU），對所有空調送風進行淨化處理，並在淨化空調機組進行熱、濕處理，並由大送風管將所有送風淨化。至無塵室天花板，再透過位於無塵室天花板上的末端高效過濾器或高效過濾器對潔淨室內的送風口進行過濾，以實現潔淨室製程所需的溫度、濕度、潔淨度和壓力差。房間，潔淨室的回風經過回風口和回風管，然後連接空調房的淨化空調機組。與新鮮空氣混合後，重複進行空氣淨化和濕熱處理。此方案可分為全新風送風方案（直流系統）；1個回風程序；第一回風方案和第二回風方案以及MAU加FFU方案是四種不同的送風類型。這種送風方案是無塵室尤其是非單向流潔淨室應用最廣泛的送風方案。此送風方案系統劃分明確，風量、溫濕度控制調節單一。但當潔淨度等級較高、送風量較大時，空調房佔地面積較大，送回風管體積佔用較大面積及空間，送回風管時間長，送風風機餘壓高，噪音大，送風耗電量大。因此，這種送風方案更適合較低級別的非單向流潔淨室的送風，而對於5級以上的單向流潔淨室的送風則不太經濟合理。

1.AHU新風送風方案（直流系統）

全新風淨化送風方案用於不允許回風的無塵室特殊送風方案。例如，無塵室過程的生產被劃分為A級和B級火災危險等級或過程產生劇毒等有害物質，不允許在潔淨送風系統中回風。

2.AHU一次回風送風方案

一次回風送風方案通常用於發熱量或產濕量較大的潔淨室，且室內餘熱或濕氣的送風量大於、等於或接近非潔淨室中的淨化送風量。單向流潔淨室，潔淨度等級低。

3.AHU一次回風、二次回風淨化空調送風方案

為了節省能源，消除空氣熱量與濕熱處理過程中的熱量相互抵消，在無塵室淨化送風量大於空調的送風量以消除餘熱濕氣，最好採用第一、二次回風方案，第二個混合點設計在系統送風點處，這一邊是最節能、最經濟的送風方案。

4.MAU+RAU淨化空調送風方案

此解決方案針對多個無塵室的潔淨度、溫度、濕度需求不同，室內產生的熱量和含水量也相近，為了確保每個無塵室的潔淨度、溫度、濕度和精度要求，需設定多循環機組，機組的循環風輸出是為了淨化輸出的空氣，並在機組內部設置必要的熱、濕處理設備，用於補充新風機組熱、濕處理的不足並​​保證潔淨度。室溫、濕度精密微調部分。由於循環機組位於無塵室的天花板上，循環機組送風的餘壓較小，機組的體積及機組的噪音和振動也較小，回風管道為相對較短。但需注意循環裝置的冷凝水排放。本方案中的新風機組位於空調室內，這些無塵室所需的新風全部透過新風機組（MAU）淨化並進行熱濕集中處理。然後將其分配到每個循環單元並與其回風混合。新風機組的新風量既要補充各無塵室的排風，也要確保各潔淨室的正壓。新風扇組的濕熱處理最好達到無塵室空氣的機械露點。如果新風的濕熱處理點低於無塵室的機械露點，新風不僅要承受新風本身的濕負荷，還要消除無塵室的濕負荷。此時，循環單元中的表面冷卻器可以是乾式表面冷卻器。

淨化送風、送風與空調分離的方案通常稱為半集中或分散送風方案。為大幅節省運轉時的能耗，將消除潔淨室內的餘熱和濕空調的出風量（通常大大小於潔淨室淨化的出風量），由空調機房的空氣機組（MAU）必要淨化和熱濕處理，保證潔淨室潔淨度的總量的50%~90%淨化室輸出的空氣由靠近循環裝置的淨化和補充熱、濕處理，或直接使用機頭吊扇過濾裝置）和乾燥盤管，解決潔淨室潔淨度等級和溫度的微調。這種透過空調與送風分開的送風方案，不僅可以節省運行能源，而且可以大大減少空調房的面積，節省龐大的送風和回風管道，降低潔淨室的空間高度。房間。此類淨化送風方案可分為：空調機組（AHU）加風機過濾單元（FFU）方案、新風扇組（MAU）加循環單元（RAU）加（FFU）方案；新風單元（MAU）+風扇過濾單元（FFU）+乾冷管

（DC）等三種送風方案。

1.本方案中空調機組AHU（MAU）和風機過濾機組（FFU）的送風方案，空調系統所有熱濕負荷（無塵室產生的熱濕負荷和無塵室產生的熱濕負荷）新鮮空氣）由空調房內的空調機組承擔。此時空調機組的送風是消除系統餘熱餘濕的送風（包括全部新風和部分回風，但遠小於淨化送風，以確保系統的潔淨度）潔淨室），並應能保證潔淨室的恆溫和相對濕度。潔淨室的潔淨度是透過無塵室天花板上的風扇過濾單元（FFU）來保證的，該風扇過濾單元對淨化後的空氣進行循環和過濾。本方案需要注意的是，FFU運作過程中產生的熱量也應由空調機組承擔。此方案比較適用於大型非單向流潔淨室中部分垂直單向流的混流無塵室。

2.新風單元（MAU）加（HE）循環單元和風機過濾單元（頭）淨化空調送風方案，此方案適用於多個無塵室潔淨度、溫度、濕度不同要求，室內產量熱量和含水量也相近，為了確保每個潔淨室的潔淨度、溫度、濕度和精度要求，要設置多個循環單元，該單元的循環風輸出是淨化空氣輸出，並在機組，設置必要的熱、濕處理設備，用於補充新風機組熱、濕處理的不足，並確保潔淨室溫、濕度精調工段。由於循環機組位於無塵室的天花板上，循環機組送風的餘壓較小，機組的體積及機組的噪音和振動也較小，回風管道為相對較短。但需注意循環裝置的冷凝水排放。本方案中的新風機組位於空調室內，這些無塵室所需的新風全部透過新風機組（MAU）淨化並進行熱濕集中處理。然後將其分配到每個循環單元並與其回風混合。新風機組的新風量既要補充各無塵室的排風，也要確保各潔淨室的正壓。新風扇組的濕熱處理最好達到無塵室空氣的機械露點。如果新風的濕熱處理點低於無塵室的機械露點，新風不僅要承受新風本身的濕負荷，還要消除無塵室的濕負荷。此時，循環單元中的表面冷卻器可以是乾式表面冷卻器。

當潔淨室中多台設有多個1級、10級、100級高淨化等級的立式順流潔淨室時，為了減輕循環單元（he）及送、回風風管段的負擔，循環機組僅解決單向流潔淨室空調送風量，保證潔淨室溫度、相對濕度及潔淨室正壓，且大部分佔90%以上的輸送位於無塵室天花板板上頭重擔，保證潔淨室的高潔淨度水平。3.新風單元（MAU）加風機過濾單元（機頭）和乾冷管（DC）的淨化空調送風方案是將新風機組送至無塵室熱濕比線且相對濕度低於95%線交叉口，新風機組不僅會造成機組本身的濕負荷，還會負擔潔淨室內的濕負荷，新風機組要確保無塵室所需的相對濕度。新風機組熱處理不足部分的乾冷負荷將由位於無塵室天花板（或隧道內）的乾表冷卻器補充。由於乾台冷卻器位於天花板上或FFU循環風所經過的隧道內，乾台冷卻所構成的乾冷負荷由循環風帶到無塵室。經過新風機組處理後的新風經由管道送至潔淨室內的送風靜壓箱，與FFU循環風最均勻地混合。FFU佈置在無塵室的天花板上。與新風混合的循環風經FFU過濾後，經高效過濾器過濾後送至無塵室，確保潔淨室的潔淨度。FFU規格主要為1200mm×600mm及1200mm×1200mm，斷面風速≥0.45m/s，餘壓≥120Pa，雜訊≤50dB(A)。FFU風機風量應可調，高效過濾器應可更換。乾冷盤管一般由兩排組成。為了減少阻力≥3mm的鋁翅片間距，阻力損失應為30~40Pa。通過乾式盤管的循環風表面風速<2m/s，最好為1.5m/s。乾式盤管冷水的進水溫度應比無塵室的露點溫度高2℃，通常稱為中冷凍水。雖然稱為乾式盤管，但在初次運作時可能會產生冷凝水，因此乾式盤管也應有冷凝水接水盤和排水措施。

本方案中，無塵室的相對濕度由新風機組（MAU）保證，無塵室的溫度由乾冷盤管保證，無塵室的潔淨度由FFU保證。MAU加頭及淨化直流空調送風方案，目前在我國及國外微電子（IC）產業、光電（TFT-LCD、LCD、LED等）產業等中大面積、高潔淨度等級無塵廠房廣泛應用，它具有調節方便、節能顯著、適應製程升級、大幅節省非生產面積和非生產空間等優點。而且，隨著潔淨技術和潔淨設備的不斷發展和進步，FFU風扇效率不斷提高，功耗不斷降低，整體價格不斷降低。初期投資與其他類型的送風方案基本相同，但運作成本卻大大節省。