從潔淨室建設規模與技術水準來看，我國與先進國家的差距更大。日本清水建設公司。1982年至1987年承包的無塵室面積達71.8萬平方米，而我國承包的無塵室總面積不足10萬平方米。巨大的發展。1993年簽約的無塵室總面積接近15萬平方公尺。美國的潔淨室建設規模更大。1998年統計達188.5萬平方公尺。從清潔工程技術水平來看1980年代末，國外已建成大量0.1微米等級的超無塵室。1987年，日本三洋新潟工廠建成十級潔淨車間3000平方米，NIT原木建成4座1000平方米。米控制千級車間0.1微米粉塵，換氣次數高達每分鐘300次。美國台積電在台灣的新廠建有第四代管道式無塵室，總面積達10,000平方公尺。我國使用的0、1微米10級無塵室主要依賴國外進口。因為高潔淨度的無塵室造價非常昂貴，0.1微米10級無塵室每平方公尺造價高達1萬美元。潔淨車間在大規模積體電路製造設備投資中佔有很高比例，與積體電路技術不斷更新、產品更新換代週期越來越快的發展趨勢不相適應，嚴重限制了大規模積體電路的發展。電路技術。發展。美國ASYST公司和德國MW公司開發的採用隔離技術的亞微米生產微環境系統設備和技術近年來已廣泛採用。這項最新的潔淨技術採用了100級潔淨度的潔淨車間內製程設備部分採用隔離技術的微環境，

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