無塵室是指去除一定空間內空氣中的粒狀物、有害空氣、細菌等污染物，並對室內溫度、無塵度、室內壓力、氣流速度和氣流分佈、噪音、振動、照明、靜電等進行控制。電力在一定的需要範圍內，並給予專門設計的房間。也就是說，無論外在空氣條件如何變化，房間都能維持原先設定的潔淨度、溫度、濕度、壓力需求。潔淨室的主要功能是控制產品（如矽片等）所接觸的大氣的潔淨度、溫度和濕度，使產品能夠在良好的環境空間中進行生產和製造。這個空間稱為潔淨室。

一。潔淨室指標。

1.潔淨室內的送風量足以稀釋或消除室內產生的污染。

2.潔淨室內的空氣從潔淨區流向潔淨度較差的區域。受污染空氣的流動達到最低水平，空氣在門口和室內建築內以正確的方向流動。

3.無塵室送風不會明顯增加室內污染。

4.室內空氣的運動狀態可確保密室內不存在高濃度聚集區域。

二、潔淨室測試。

1.送風量和排風量：如果是湍流潔淨室，則必須測量送風量和排風量。如果是單向流潔淨室，必須測量風速。

2、各區之間的氣流控制：為了證明各區之間的氣流運動方向正確，即從潔淨區流向潔淨度差的區，需要檢查：

(1)各段壓差正確；

( 2)門口或牆壁、地板等開口處的空氣流動方向正確，即從潔淨區流向潔淨度較差的區域。

3.過濾器檢漏：應檢查高效過濾器及其框架，確保懸浮污染物不會通過： （1）過濾器損壞；(2)過濾器與其外框之間的間隙；

(3)過濾裝置的其他部分侵入房間。

4.隔離洩漏檢測：此測試是為了證明懸浮污染物不會滲透建築材料進入無塵室。

5.室內氣流控制：氣流控制測試的類型取決於無塵室的氣流模式－湍流或單向流。如果潔淨室內氣流湍流，必須驗證室內不存在氣流不足的區域。如果是單向流潔淨室，必須驗證整個房間的風速和風向是否符合設計要求。

6.懸浮顆粒濃度和微生物濃度：如果上述測試符合要求，則最後測量顆粒濃度和微生物濃度（必要時），以驗證其符合無塵室設計的技術條件。

7.其他測試：除上述污染控制測試外，有時還須進行以下一項或多項測試：溫度、相對濕度、室內製熱製冷能力、噪音值、光照強度、振動值

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