無塵室（Clean Room），又稱為無塵室或無塵室。它是污染控制的基礎。沒有潔淨室，就不可能大量生產對污染敏感的零件。本文僅簡單討論潔淨室淨化措施中達到潔淨度要求的四個必要條件。 

1.送風潔淨度 要確保送風潔淨度符合要求，關鍵在於淨化系統末級過濾器的性能和安裝。考慮到潔淨度要求，原則是低等級潔淨室採用低性能過濾器，高等級潔淨室採用高性能過濾器。一般來說： 

100萬級可選擇高中效過濾器；10000級以下可選用亞高效或A型高效過濾器；10000級至100級採用B型過濾器；100比1級使用C型過濾器。每個清潔度等級似乎都有兩種類型的過濾器可供選擇。選擇高性能或低性能取決於具體情況：當環境污染嚴重，或室內排風比例較大，或無塵室特別重要時，需要較大的安全係數。在這些或其中一種情況下，應選擇更高類型的過濾器；否則，應選擇性能較低的過濾器。 

2.氣流組織無塵室的氣流組織與一般空調房間不同。它要求先將最潔淨的空氣送至操作部分。其功能是限制和減少加工產品的污染。為此，在設計氣流組織時應考慮這些原則：盡量減少湍流，避免將工作區域外的污染帶入工作區域；盡量防止二次粉塵飛揚，減少粉塵污染工件的機會；工作區域的氣流應盡量均勻，風速應滿足製程和衛生的要求。當氣流流向回風口時，空氣中的灰塵應有效帶走。

 3.送風量或風速充足的通風是為了稀釋和消除室內污染空氣。依不同的潔淨度要求，當潔淨室淨高度較高時，應適當增加換氣次數。其中100萬級無塵室的通風依高中效淨化系統考慮[7]，其餘依高效淨化系統考慮; 當10萬級無塵室高效率過濾器集中佈置在機房或系統端採用亞高效過濾器時，通風頻率可適當增加10-20%。四、靜壓差 潔淨室內保持一定的正壓，是保證潔淨室不受或少受污染、維持設計潔淨度水準不可或缺的條件之一。即使是負壓潔淨室，也必須有不低於其潔淨度等級的相鄰房間或套房保持一定的正壓，這樣負壓潔淨室的潔淨度才能得以維持。

 無塵室的正壓值是指門窗全部關閉時室內靜壓大於室外靜壓的數值。本發明實現了淨化系統的送風量大於回風量和排風量。為了確保無塵室的正壓值，送風、回風、排風機最好聯鎖。系統開機時，應先啟動送風風機，然後啟動回風風機和排風機；系統關閉時，應先關閉排風機，然後關閉風扇和送風機。，以防止系統開啟和關閉時潔淨室受到污染。保持無塵室正壓所需的風量主要根據維護結構的密封性來決定。我國潔淨室建設初期，由於圍護結構的氣密性較差，需要維持≥5Pa的正壓，需要送風2-6次/h；維護結構的氣密性大為提高，相同正壓僅需1~2次/h送風；維持≥1OPa也只需2~3次/h供氣。需維持≥5Pa的正壓，需供氣2-6次/h；維護結構的氣密性大為提高，相同正壓僅需1~2次/h送風；維持≥1OPa也只需2~3次/h供氣。需維持≥5Pa的正壓，需供氣2-6次/h；維護結構的氣密性大為提高，相同正壓僅需1~2次/h送風；維持≥1OPa也只需2~3次/h供氣。

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